低溫等離子體技術是一種集物理、化學、生物學和環(huán)境科學的交叉綜合技術。等離子體的分子被稱為第四種形式，是國內外空氣污染控制中是最為有效的方法，具有對污染物產生物理效應、化學作用和生物作用的顯著特點。
低溫等離子凈化器的凈化機理包括兩個方面：第一，在等離子體產生過程，打開某些有害氣體分子產生化學高能高頻放電，這樣氨、三甲胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲基二硫、二硫化碳和硫化氫VOC苯、甲苯、苯乙烯硫化物、X乙烯，分子鏈結構，使有機或無機惡臭化合物分解成單質原子或無害分子，包括高能量電子能，大量等離子體中的正離子和負離子產生激發(fā)態(tài)粒子和強氧化性的自由基，這些活性粒子和一些排氣氣體分子碰撞，在電場作用下分子處于興奮狀態(tài)，當結合氣體分子獲得的能量大于分子能量時，廢氣的分子鍵斷裂，直接分解為廢氣的原子或無害的氣體分子。同時產生大量的HO2、O、OH等活性自由基與氧化性強的O3，能與有害氣體發(fā)生反應，最后生成無害的產物。
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