1.1 產品簡介
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激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為計算單位的檢測設備，是公認的高精度、高靈敏度的檢測設備，在高端制造領域應用廣泛。
SJ6000激光干涉儀產品采用進口高穩(wěn)定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術，實現(xiàn)多種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術，實現(xiàn)快速(約8分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光輸出，采用不同的光學鏡組可以測量出線性長度、角度、直線度、平行度、平面度以及垂直度等幾何量，并且可以進行動態(tài)測量分析。
SJ6000激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、最高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學組件結合，可以實現(xiàn)線性長度、角度、平面度、直線度、垂直度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下，還可以進行動態(tài)性能檢測。如振動分析；滾珠絲桿的動態(tài)特性分析；驅動系統(tǒng)的響應特性分析；導軌的動態(tài)特性分析等，為設備誤差修正提供依據(jù)。
2.1. 產品特點
精度高
以激光干涉技術為核心，分辨力可達納米級；采用高精度環(huán)境補償模塊，解決了溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。
功能廣
具有實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、回轉軸等幾何量的檢測功能。可以檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等；同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、直線度和垂直度；并可以校準機床的回轉軸。
可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為機床誤差修正提供依據(jù)。
具有動態(tài)測量(位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線) 及測量振幅和頻率分析的功能，可進行振動分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。
支持手動或自動進行環(huán)境補償。
標準多
內置國內外通用的標準，含國標(GB) 、ISO(國際) 、BS(英制) 、美標、DIN(德標) 、JIS(日標)共13份 。可依據(jù)各種不同的測量標準分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。
便攜性
使用方便：準直激光后，輕易實現(xiàn)設備線性定位、重復定位精度、反向間隙、角度、直線度的測量。
攜帶方便：基本重量為18kg，簡單便攜。
記錄管理方便，可定制
測量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理，可按被測件類型、生產單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理測量記錄。可定制專屬企業(yè)模板，增加企業(yè)商標。
2.2. 分析標準配置
激光干涉儀測量分析軟件支持以下檢驗標準：內置國內外通用的標準，含國標(GB) 、ISO(國際) 、BS(英制) 、美標、DIN(德標) 、JIS(日標)共13份 。可依據(jù)各種不同的機床標準分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。
